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淺析等離子清洗機(jī)匹配器的問(wèn)題

更新時(shí)間:2021-01-26      點(diǎn)擊次數(shù):1120
  今天給大家講一講等離子清洗機(jī)的匹配器的問(wèn)題。
 
  其實(shí)對(duì)于很多客戶而言,并不關(guān)心這個(gè),客戶只是關(guān)心處理的效果,對(duì)于等離子電源的匹配器了解甚少,不過(guò)寫(xiě)一篇,如果哪天你公司的等離子出現(xiàn)下面的這些問(wèn)題,你就知道是機(jī)器匹配器壞了。
 
  國(guó)內(nèi)等離子電源主要的分兩種,13.56khz的射頻電源和40khz的中頻電源,其它的電源都用的很少。射頻電源等離子柔和細(xì)密,溫度也低,功率大做到2KW,用來(lái)處理一些嬌嫩的材料很是適合。中頻等離子剛好相反,等離子沒(méi)有那么密,但是力道猛,溫度高,功率能做很大,通常用來(lái)做刻蝕、除膠渣。
 
  等離子清洗機(jī)反應(yīng)腔體、電極與等離子發(fā)生器之間的橋梁——阻抗匹配器
 
  在高頻放電回路中,為了保證用于放電區(qū)的功率消耗保護(hù)振蕩器,常規(guī)的做法就是在高頻電源與等離子腔體、電極之間設(shè)置阻抗匹配網(wǎng)絡(luò),以便按不同放電條件進(jìn)行調(diào)節(jié),使高頻發(fā)生器的輸出阻抗與負(fù)載阻抗能夠匹配,讓清洗機(jī)放電穩(wěn)定,工作效率高。

等離子清洗機(jī)


 
  射頻清洗機(jī)會(huì)用到匹配器。
 
  匹配器出了問(wèn)題z為直接影響就是清洗機(jī)放電不穩(wěn)定,甚至不放電。那么就會(huì)直接影響到機(jī)器清洗的效果
 
  匹配器出了毛病其主要原因有下面這幾個(gè):
 
  空氣電容損壞毛病原因:空氣電容在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中沖突發(fā)生導(dǎo)電雜質(zhì),造成部分短路;沖突導(dǎo)致動(dòng)片軸損壞,無(wú)法正常調(diào)理。
 
  進(jìn)口晶體管毛病 毛病原因:與空氣電容動(dòng)片軸損壞有關(guān),空氣電容無(wú)法正常作業(yè),射頻輸出阻抗無(wú)法調(diào)理,導(dǎo)致晶體管擊穿;在運(yùn)用過(guò)程中,匹配器初始值調(diào)理不妥,匹配時(shí)刻過(guò)長(zhǎng)或真空腔體內(nèi)輝光放電不穩(wěn)定也會(huì) 造成晶體管損壞。
 
  電源匹配器平時(shí)做維護(hù)
 
  等離子清洗機(jī)日常維護(hù)的時(shí)候,需要檢查電極板,每天下班了清洗機(jī)用完,對(duì)電極板有污染的地方,用酒精擦一擦。電極板的數(shù)量、間距,不懂就不要去亂調(diào)整。 定時(shí)確認(rèn)匹配器的初始值,長(zhǎng)時(shí)刻運(yùn)用可能會(huì)呈現(xiàn)初始值偏移的狀況,需求定時(shí)承認(rèn)并依據(jù)實(shí)際狀況調(diào)整。
 
  如果初始值偏移太多,就請(qǐng)查看一下匹配器內(nèi)部和空氣電容片是否有錯(cuò)位或者打火現(xiàn)象??諝怆娙莸墓潭ㄈ~片及動(dòng)片在調(diào)到大時(shí)是基本重合的;如呈現(xiàn)打火現(xiàn)象, 承認(rèn)葉片有無(wú)燒壞,如燒壞可將燒壞位置打磨后再運(yùn)用,葉片之間的間隔太近也會(huì)呈現(xiàn)打火現(xiàn)象。
 
  如果匹配器內(nèi)有燒焦的味道和以上問(wèn)題無(wú)法處理,請(qǐng)及時(shí)與專(zhuān)業(yè)人員聯(lián)系。 匹配器內(nèi)部配件的運(yùn)用周期是無(wú)法具體承認(rèn)的,這與運(yùn)用環(huán)境、處理產(chǎn)品、運(yùn)用是否妥當(dāng)?shù)染新?lián)系,主要原因可能是匹配器內(nèi)雜質(zhì)造成了短路或打火。
 
  匹配器是用來(lái)匹配電源和真空腔的,需要電源的功率和真空腔保持一致性。解釋起來(lái)就點(diǎn)像電腦上面的電源適配器的意思。
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